阮方鸣, 章俊华, 陈辉林, 丁安, 杨向东, 李光灿, 肖文君, 徐永兵.

      非接触静电放电测试低重复特性分析研究


      [J]. 电波科学学报, 2014, 29(5): 940-944+1007. doi: 10.13443/j.cjors.2013080102
      引用本文: 阮方鸣, 章俊华, 陈辉林, 丁安, 杨向东, 李光灿, 肖文君, 徐永兵.

      非接触静电放电测试低重复特性分析研究


      [J]. 电波科学学报, 2014, 29(5): 940-944+1007. doi: 10.13443/j.cjors.2013080102
      RUAN Fangming, ZHANG Junhua, CHEN Huilin, DING An, YANG Xiangdong, LI Guangcan, XIAO Wenjun, XU Yongbing.

      Analysis and investigation of low repeatability of measurement results in non-contact mode ESD


      [J]. CHINESE JOURNAL OF RADIO SCIENCE, 2014, 29(5): 940-944+1007. doi: 10.13443/j.cjors.2013080102
      Citation: RUAN Fangming, ZHANG Junhua, CHEN Huilin, DING An, YANG Xiangdong, LI Guangcan, XIAO Wenjun, XU Yongbing.

      Analysis and investigation of low repeatability of measurement results in non-contact mode ESD


      [J]. CHINESE JOURNAL OF RADIO SCIENCE, 2014, 29(5): 940-944+1007. doi: 10.13443/j.cjors.2013080102

      非接触静电放电测试低重复特性分析研究


      Analysis and investigation of low repeatability of measurement results in non-contact mode ESD


      • 摘要:

        基于自主研发的新型测试系统,对小间隙静电放电(Electrostatic Discharge, ESD)中电极移动速度和气体压强引起放电参数的低重复离散特性进行探讨.新型测试系统采用机电一体化设计,解决了带电体与受电体高速相向运动与避免强烈撞击损坏仪器的难题,并实现对多种影响因素的有效测量.用新型测试系统测量了气体压强变化和向放电靶移动电极速度等放电参数.静电放电模拟器移动距离控制在(10~40 cm)的范围.电极移动速度变化(v)14 cms, 则放电电流峰值改变(I)达到0.5 A,空气压强变化对放电电流最高峰值的影响十分明显,压强变化(p)0.06个大气压时则峰值电流变化(I)为 0.5 A,证明了电极移动速度和空气压强对放电参数产生的影响;对放电参数受电极移动速度和气体压强变化而出现显著差异的可能机制给出了初步分析.

         

        Abstract:

        Investigation was conducted with our newly invented measurement system on low repeatability in electrostatic discharge(ESD) parameters measurement, which is  strongly affected by velocity of electrode to the target and gas pressure variation. Perplexed problem is f resolved with newly invented electro-mechanic system on contradiction between large velocity of electrode to the target and avoidance of damage from strong collision. Several factors of gas pressure, electrode velocity to the target, temperature, relative humidity, etc., can be effectively measured based on our new experiment and research system. The range of electrostatic discharge generator displace is 10 cm~40 cm in the system. Electrode velocity variation (v) of 14 cms moving to the target result in peak current change (I) of 0.5 A. Gas pressure variation (p) of 0.06 atm create current peak value variation (I) of 0.5 A, shows drastic change of discharge current peak value and discharge waveform. Initial validation is given on strong impact of electrode velocity to the target and air pressure on discharge parameters. A brief analysis is provided for possible effect mechanism of electrode velocity and air pressure on discharge parameters in short gap electrostatic discharge.

         

      /

      返回文章
      返回